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等离子体增强化学气相沉积系统
中标公告
|
中标成交
公开招标
上海市
招采单位:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
监控
联系方式:
02******70
中标金额:
7950万元
发布时间:
2021-12-31
项目编号:
0834-2141SH21A443
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