半导体专用热工设备及辅助设备的研发、设计、销售、租赁、技术服务。半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；软件销售；软件开发；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；专用设备修理；机械零件、零部件加工；企业管理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 半导体专用热工设备及辅助设备的生产、维修及加工。货物进出口；技术进出口；进出口代理。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）