以提升粤港澳大湾区纳米技术、半导体等产业的自主创新能力为目标，致力于产业技术领域核心关键技术突破、共性技术研发、技术系统集成、工程化示范应用和产业化。开展纳米新材料、纳米器件与工艺的研究；相关领域应用技术开发；成果转化；技术咨询；培训与服务。佛山乃至华南地区重大需求开展科技攻关与科技服务。