秉承平等互利、合作共赢的原则，围绕半导体、光学、高端装备等重点领域，聚焦先进制造工艺及装备核心应用技术研究，研制新一代半导体晶圆激光制造工艺及装备、半导体晶圆超精密制造工艺及装备、光学元器件微纳制造工艺及装备、半导体检测装备、超精密功能部件及功率半导体器件，共同建设集“科学研发、技术创新、公共服务、人才培养、成果转化”于一体的先进制造技术创新和产业孵化平台，形成具有全国影响力和市场竞争力的高端新型研发机构。从事科学研究、科技开发、科技成果转化、技术转移、技术咨询、高新企业孵化、人力资源服务、科技金融服务、创业培训、高端人才教育培训等工作。